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切割工序用UV照射机 NEL SYSTEM®系列
切割工序用UV照射机UA3000-Ⅱ
应用于12''晶圆的全自动紫外线照射装置
本设备为全自动UV照射装置，用于在切割工序结束后，向晶圆贴装架上照射紫外线，以降低UV固化型粘合胶带（ELEP HOLDER）的粘合力。
< 特点 >
- 配备照度感应器。
- 采用无臭氧型的UV灯。
- 可使用SEMI规格的盒带。
- 可利用触摸屏简单操作。
- 可使用单式盒带。
- 满足安全规格SEMI-S2/S8。
切割工序用UV照射机UA8400
应用于8''晶圆的全自动紫外线照射装置
本设备为全自动UV照射装置，用于在切割工序结束后，向晶圆贴装架上照射紫外线，以降低UV固化型粘合胶带（ELEP HOLDER）的粘合力。
< 特点 >
- 可使用单式盒带。
- 可利用触摸屏简单操作。
- 采用无臭氧型的UV灯。
- 可配备自动照射时间设定功能，以得到所需的一定累计光亮。
切割工序用UV半自动照射机UA810/UM110
UM810是应用于8''晶圆的半自动紫外线照射装置。
UM110是应用于6''晶圆的半自动紫外线照射装置。
在晶圆的表面(图形面)粘贴保护用粘合胶带“ELEP HOLDER”后，按照晶圆的尺寸进行切割。
< 特点 >
- 分别进行晶圆贴装架的供应和取出作业，为半自动机型。
- 可设定N2清除功能。
- 可通过定时来设定照射时间。
- 提供照射感应器（选购件）。
